比利时微电子研究中心（IMEC）5月21日公告称，将主办NanoIC试验线，预计25亿欧元的投资将通过公共和私人捐款共同完成。欧盟资助计划通过“芯片联合体”（Chips Joint Undertakings）等提供14亿欧元，私人捐款将来自多个行业合作伙伴（包括ASML），总额将达到11亿欧元。