财联社6月3日电，有投资者问，贵公司目前拥有几台光刻机用于研发生产芯片上游材料光刻胶？晶瑞电材在互动平台表示，公司共拥有5台相关设备及其配套设备，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产。