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盛美上海：等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证

盛美上海：等离子体增强原子层沉积炉管设备通过初步验证

每经AI快讯，盛美半导体设备（上海）股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管设备（PEALD）已初步通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证，正在进行最 ...

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