紫外光 – 编程日记

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日本宣布开发出新技术，可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和…

光刻设备日本紫外光耗电量

日本宣布开发出新技术，可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和…

8月13日消息，日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术，可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。 ...

fengjun
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2024-08-13
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2万+课题在这里实验，上海光源“照亮”微观世界|高质量发展调研行

上海市实验科学紫外光辐射高质量发展调研

2万+课题在这里实验，上海光源“照亮”微观世界|高质量发展调研行

记者方卓然在上海张江科学城，有一个外形酷似“鹦鹉螺”的建筑，这就是中国大陆第一台第三代同步辐射光源——上海光源，2009年5月6日正式对用户开放，如今这座大科学装置投入使用15年。 ...

fengjun
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2024-05-27
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